Las piezas de cerámica se utilizan ampliamente en la industria de semiconductores. Son preferidas porque los materiales cerámicos tienen una serie de propiedades excelentes, como alta dureza, resistencia a altas temperaturas, buen aislamiento y estabilidad química y, en algunos casos, alta conductividad térmica. El acabado de las piezas de cerámica es un paso muy crítico en todo el proceso de fabricación, que está directamente relacionado con la precisión dimensional final, la rugosidad de la superficie y el rendimiento general de las piezas.
Algunas aplicaciones de piezas cerámicas en el campo de los semiconductores
1. Equipo de grabado de plasma: En el proceso de grabado de plasma, se utilizan piezas cerámicas como cerámica de alúmina como componentes de la cámara de grabado porque pueden resistir la erosión del plasma, reducir la contaminación, garantizar la calidad de la oblea y la estabilidad del proceso de grabado.
2. Rectificado y pulido: Las cerámicas de carburo de silicio se utilizan a menudo como discos de rectificado debido a su alta dureza y bajo coeficiente de expansión térmica. Son especialmente adecuadas para el rectificado y pulido a alta velocidad de obleas de silicio para garantizar la planitud y el paralelismo de las obleas.
3. Abrazaderas y ventosas: Las ventosas de cerámica se utilizan para fijar y transportar obleas de silicio en la producción de semiconductores para evitar la contaminación y los daños causados por la adsorción electrostática.
4. Disipadores de calor y materiales de embalaje: Las cerámicas de nitruro de aluminio se utilizan como disipadores de calor debido a su alta conductividad térmica para ayudar a los dispositivos semiconductores a disipar el calor y mantener temperaturas de funcionamiento estables; al mismo tiempo, también es un excelente material de embalaje para mejorar el rendimiento y la confiabilidad del dispositivo.
5. Materiales del sustrato: Las cerámicas de nitruro de aluminio se pueden utilizar como sustratos para circuitos de alta frecuencia y alta velocidad, y son adecuadas para dispositivos de microondas, láseres, electrónica de potencia y otros campos.
6. Electrodos y soportes: La alta conductividad eléctrica de la cerámica de nitruro de aluminio la hace adecuada para la fabricación de electrodos y soportes en dispositivos semiconductores.
7. Envasado de láseres semiconductores: Las cerámicas de nitruro de aluminio se utilizan para envasar láseres semiconductores para mejorar la disipación de calor y las propiedades ópticas de los láseres.
8. Equipos de deposición química de vapor (CVD) y deposición física de vapor (PVD): Las piezas cerámicas se utilizan como componentes de la cámara de reacción en estos procesos de deposición y pueden soportar altas temperaturas y corrosión química.
9. Componentes ópticos: Los materiales cerámicos como el óxido de circonio se pueden utilizar para fabricar componentes ópticos como lentes y ventanas para sistemas de comunicación láser y óptica.
10. Aisladores y conectores: Las altas propiedades aislantes de las cerámicas las hacen adecuadas para la fabricación de aisladores y conectores para el aislamiento eléctrico en el interior de dispositivos semiconductores.
Estas aplicaciones demuestran la importancia de las piezas cerámicas en los procesos de fabricación y empaquetado de semiconductores, ayudando a mejorar el rendimiento, la confiabilidad y la eficiencia de producción de los productos semiconductores.