Керамические детали широко используются в полупроводниковой промышленности. Они пользуются популярностью, поскольку керамические материалы обладают рядом превосходных свойств, таких как высокая твердость, высокая термостойкость, хорошая изоляция и химическая стабильность, а в некоторых случаях и высокая теплопроводность. Отделка керамических деталей является очень важным этапом во всем производственном процессе, который напрямую связан с конечной точностью размеров, шероховатостью поверхности и общей производительностью деталей.
Некоторые применения керамических деталей в области полупроводников
1. Оборудование для плазменного травления: в процессе плазменного травления керамические детали, такие как алюмооксидная керамика, используются в качестве компонентов камеры травления, поскольку они могут противостоять плазменной эрозии, уменьшать загрязнение, обеспечивать качество пластины и стабильность процесса травления.
2. Шлифовка и полировка: Керамика из карбида кремния часто используется в качестве шлифовальных дисков из-за ее высокой твердости и низкого коэффициента теплового расширения. Она особенно подходит для высокоскоростной шлифовки и полировки кремниевых пластин, чтобы обеспечить плоскостность и параллельность пластин.
3. Зажимы и присоски: Керамические присоски используются для фиксации и перемещения кремниевых пластин в производстве полупроводников, чтобы избежать загрязнения и повреждений, вызванных электростатической адсорбцией.
4. Теплоотводящие и упаковочные материалы: Керамика на основе нитрида алюминия используется в качестве теплоотводящих материалов благодаря своей высокой теплопроводности, помогая полупроводниковым приборам рассеивать тепло и поддерживать стабильную рабочую температуру; в то же время это также превосходный упаковочный материал для повышения производительности и надежности устройств.
5. Материалы подложки: Керамика на основе нитрида алюминия может использоваться в качестве подложек для высокочастотных и высокоскоростных схем и подходит для микроволновых устройств, лазеров, силовой электроники и других областей.
6. Электроды и кронштейны: Высокая электропроводность керамики на основе нитрида алюминия делает ее пригодной для изготовления электродов и кронштейнов в полупроводниковых приборах.
7. Корпус полупроводниковых лазеров: Керамика на основе нитрида алюминия используется для корпуса полупроводниковых лазеров с целью улучшения рассеивания тепла и оптических свойств лазеров.
8. Оборудование для химического осаждения из паровой фазы (CVD) и физического осаждения из паровой фазы (PVD): в этих процессах осаждения в качестве компонентов реакционной камеры используются керамические детали, которые могут выдерживать высокие температуры и химическую коррозию.
9. Оптические компоненты: Керамические материалы, такие как оксид циркония, могут использоваться для изготовления оптических компонентов, таких как линзы и окна для лазерных и оптических систем связи.
10. Изоляторы и соединители: Высокие изоляционные свойства керамики делают ее пригодной для изготовления изоляторов и соединителей для электрической изоляции внутри полупроводниковых приборов.
Эти применения демонстрируют важность керамических деталей в процессах производства и упаковки полупроводников, помогая повысить производительность, надежность и эффективность производства полупроводниковых изделий.